第324章 目前就这些

    肖宿点了点头，一点不含糊地开口了。
    “场地方面，实验室面积不能小。”
    “光学平台要单独隔一间百级洁净间出来做纳米压印，旁边还得留出检测区和装调区，整体算下来，最少得四百平米。”
    孟祥林在笔记本上记了两笔，抬起头问了句：“四百平米是净面积还是建筑面积？”
    “净面积。”
    孟祥林点点头，详细记了下来。
    “设备方面，”肖宿接著说，“第一项是六轴精密装调平台，定位精度要到亚纳米级。
    隱身衣的超表面天线阵列装配全靠它，精度差一点都不行，天线单元的间距偏差超过五纳米，谱域对消的干涉条件就破了。”
    赵铁军靠在椅背上，挑了一下眉毛。
    亚纳米级六轴平台，这玩意儿装备部下属的研究所里有一台从瑞士进口的，精度倒是够，不过，那可是做陀螺仪校准用的，平时都是当宝贝一样供著的。
    他还没开口，韩柏岩先出声了。
    “六轴平台我们有，”韩柏岩说，“航天那边做卫星光学载荷装调用的，精度能到零点几个纳米，不过那台现在排期很满，要调出来的话得协调一下。”
    “排期的事好办，”二把手接了一句，“韩总你回头跟院里打个招呼，就说这边是国家专项，优先安排。”
    韩柏岩点头：“行，我回去就协调。”
    肖宿接著说道：
    “光学相干层析检测系统，波段要覆盖从深紫外到近红外，两百纳米到一千一百纳米。
    隱身衣要在整个可见光频段工作，检测系统的带宽必须比它更宽，不然做出来也测不全。”
    赵铁军直接问道：
    “深紫外到近红外全覆盖？市面上標准的光学相干层析系统波段一般是分段走的，深紫外的光源和探测器跟近红外的完全是两套东西，要拼到一起的话，系统集成上得花点功夫。”
    “就是要拼到一起，”肖宿说，“分段测量的话不同波段的校准误差会叠加，最后散射残差的测量精度保不住，必须是一套系统，一次扫描全波段出结果。”
    赵铁军想了想，转头看了韩柏岩一眼：
    “老韩，我记得你们航天那边做光学薄膜检测，是不是有一套宽光谱的椭偏仪？”
    “有，但是椭偏仪只能测薄膜的折射率和厚度，跟层析成像是两回事。”
    韩柏岩摇了摇头，又想了想，“不过光源部分可以拆过来用。
    我们有一台深紫外到近红外的超连续谱光源，是跟德国一家公司联合开发的，光谱范围正好是两百纳米到一千一百纳米。探测器的话……”
    “探测器我们这边有。”
    赵铁军接过话头：
    “装备部光电实验室有一台背照式ccd，量子效率在深紫外段能做到百分之四十以上，近红外段也有百分之六十，配超连续谱光源正合適。
    光源从航天那边调，探测器从我这边出，剩下的分光系统和扫描模块让孟主任走经费採购，三家拼一台，你们觉得怎么样？”
    “我看行。”韩柏岩点头。
    孟祥林的笔一直没停下来：
    “分光系统和扫描模块的採购我记下了，会后我拉个设备清单，肖教授確认一下具体型號和参数。”
    肖宿点了点头，说道：
    “第三项是纳米压印洁净间產线，必须百级的。
    气浮平台、压印模板、镀膜设备，这三个是一套的，少一个整条链就断了。”
    赵铁军这会儿已经彻底放开了，语气比刚才又热络了几分：
    “肖教授，气浮平台我们有现成的，军工標准的，隔振性能比你市面上能买到的高一个量级，做纳米压印绰绰有余，压印模板的话……”
    “模板得自己设计，”肖宿说，“超表面天线阵列的几何图案要根据最终確定的谱域对消参数来定製，没有现成的。”
    “那就涉及到电子束光刻做模板母版了，”韩柏岩插了一句，“航天那边有台jbx-6300fs，一百千伏的加速电压，线宽能做到十纳米以下。做压印模板的母版够了。”
    孟祥林抬起头，推了推眼镜：
    “镀膜设备呢？金属介质金属三层结构的话，膜厚控制得在纳米量级，得用原子层沉积还是磁控溅射？”
    “原子层沉积做膜厚控制更精准，”肖宿说，“但三层结构里金属层用电介质层用ald的话，界面处的附著力可能有问题。
    可以先上磁控溅射做第一轮工艺验证，如果界面质量不行再换ald。”
    孟祥林点了点头，又记了两笔。
    说到这里，肖宿顿了顿，话头一转：“隱身衣的设备基本就这些，不过，光刻机方案那边还有一个东西，原理验证需要一台小型自由电子雷射器。
    功率不用太高，但波长调谐范围必须能覆盖深紫外，不然多束相干合成的第一步实验没法做。”
    赵铁军听完这句，愣了一下，然后转头看看韩柏岩，又看看孟祥林，嘴角直接翘了起来：“这个我可就真的只能出钱了。”
    韩柏岩也难得笑了一下：“赵处长別急著认，自由电子雷射器我倒是有门路。
    航天科工跟中科院高能所合作过一台小型的，原先是做空间光通信实验用的，波长从极紫外到近红外连续可调，功率几百瓦，后来项目结题了就一直放在高能所的实验室里，保养倒是没断过。
    肖教授这个实验几百瓦功率可能还嫌大了，调低一些应该能用。”
    “几百瓦调低到实验功率没问题，加个衰减器就行，”肖宿说，“关键是波长的调谐精度和光束质量。
    多束相干合成对波前一致性的要求很高，输出镜的波前畸变得控在几分之一个波长以內。”
    “这个我得回去確认一下那台机器的输出波前指標。”
    韩柏岩收起笑意，认真地点了点头，“明天之內给你答覆，如果不达標，看能不能加一套波前整形光路补偿一下。”
    “可以。”肖宿说。
    孟祥林搁下笔，把刚才记的从头捋了一遍：
    “那我匯总一下，场地最少四百平米净面积，六轴平台从航天调，检测系统光源航天出、探测器装备部出、分光模块走採购，纳米压印產线气浮平台装备部出、母版用航天的电子束光刻机做、镀膜设备採购磁控溅射，自由电子雷射器从高能所调。
    肖教授，还有漏的吗？”
    肖宿想了想：“目前就这些。”