第366章 四重曝光！这不符合物理

    看了一会后，王建平痴迷地站了起来，心情有些激动地问著那位戴著国家基金徽章的工作人员。
    “这台设备，多重曝光做了几遍？”
    那个人看了他一眼，然后笑了出来:“王总，你一眼就看得出来了。
    四重！”
    四重曝光，对乾式193nm光刻机来说这是一个非常极限的工艺，已经是量產的极限……
    至於实验室的六重曝光没有任何意义，良品率將会低到不具备生產意义的程度。
    那纯粹是为了突破而突破！
    而王建平则是惊讶地待在了那里，作为一个专业人士，不太清楚答案代表什么。
    虽然四重曝光没有六重极限，但同样也是极限生產下的低良品率，哪怕工艺完善，最高也就是70%左右。
    “四重？193nm，四重曝光做14nm套壳精度多少，你们太疯狂了。”
    “叠加误差程度控制在2nm以內！”
    王建平再一次瞪大了双眼，然后便紧紧地皱上了眉头。
    “2nm，193的波长，四重曝光能做到2nm，你们把牛顿给挖出来了？”
    毕竟以他的专业知识来看，这简直不符合物理规律。
    很快他又想到了一个思路，然后他紧紧地抓住了那位工作人员:“你们用的什么对准方案？”
    那个人没有回答，而是从旁边的文件夹上抽出了一份技术手册，翻到某一页递给王建平。
    王建平接过后，目光扫过那一页的技术参数，然后停住了，他的手微微抖了一下。
    “这个……这个是……”
    “普通出厂的光刻机不带这个算法，这是传音科技自己研发的定製版本。。
    不过您如果想要了解具体的算法细节，需要签署“保密协议”才能看。”
    那个人温和地打断了他。
    “但我可以告诉你一个公开数据：这台机器在传音的生產线上运转了60多天。
    晶圆总產量超过15000片，不过工艺控在了22nm，良品率85%。
    验收组的组长是您在京都大学的导师王志华教授。
    他签字的报告，你可以隨时查阅。”
    王建国的嘴唇动了动，就目前华芯国际和传音科技的关係来说，那个保密协议不用想，就是一份跳槽协议……
    最终他转过身又看了一眼光刻机。
    机器的外身是白色的，上面印著“华国半导体国家基金”，还有一个醒目的编號nse-cx14c【国家半导体装备系列，晨星14c】
    他伸出手轻轻摸了摸那个编號，像是在摸一个新生儿的额头。
    对华国来说，这台光刻机又何尝不是一个新生儿呢，只不过华星的这个新生儿长得有点快。
    “我们等这台机器等了20年。”
    他的声音很低，像是在自言自语，但他的心情……可是无比激动。
    他缓缓地收回放在机身上的手，眼底的激动还没有完全平復，可谓是一步三回头……
    突然间他晃了一下，呼吸却先一步稳了下来。
    他转身看向旁边的工作人员，刚才还是不敢相信这个结果，但现在已经化成了无数的期盼与恳求，但骨子里的急切，还是藏不住的。
    “我想再问一句实话，这台晨星14a，什么时候开始大规模量產供应？
    什么价格？我们华星国际能不能签意向订单排上供货队列？”
    对於王建国问的为什么直白，为什么卑微？
    这还是因为之前华芯国际从外面放出小道消息说国產光刻机突破，企图为自己吸引流量……
    结果第一台光刻机根本没有他们的事儿，甚至连询问订单也没有得到任何回復。
    所以在他们面前，他不是华芯国际手握大权的王总，而是一个为自己错误买单的小王。
    工作人员看他这个样子，眼睛里多出了几分嘆息，早知如此，何必当初呢。
    不过对於华芯国际，传音也没有那么大的仇视，给个教训就行了……
    “王总，这台晨星14系列光刻机是国家半导体大基金牵头传音科技主导研发的量產型装备，供货清单本就是面向所有合规晶圆代工企业。
    未来技术成熟后也会向全球合作伙伴开放。
    不过首批还是面向全球，华芯国际作为国內的龙头企业，自然在优先供货名单里。”
    工作人员的话音还没有落下，王建平刚想松下一口气，对方却突然话锋一转，说出了目前最困难的难题。
    “只是目前有一个问题，首批量產专线的產能已经被全部锁死。
    这台光刻机预计年產量是八台，目前全都被划归传音旗下的晶圆厂，用於22nm的成熟工艺量產，14nm工艺的进一步爬坡验证。
    后续批次，產能需要一定的调整，大概需要18个月。
    按照常规流程，贵公司需要排队等货，至少需要等一年半才能拿到首台国產设备。”
    “18个月……”
    王建平的眉头又皱了皱，不太清楚18个月意味著什么。
    並且这还是预期到时候稍微出点问题，至少要到2014年底或者2015年中他们才能拿到，到时候世界半导体工艺已经全员进入到了14nm……
    而他们还是落后。
    到时候依旧只能代工成熟製程，他们无法藉助国產设备迈向高端市场。
    他往前走上半步，语气也变得更加复杂:
    “同志！”
    他说出了这两个字，工作人员的心也微微抽动了一下。
    “我知道產能紧张，我知道这台设备离不开传音的帮助，优先供应他们提高半导体很重要。
    但华芯国际也很需要这台设备，我们也需要验证一些先进技术………为了28nm工艺的突破，我们也铺垫了很久，但还是卡在了光刻机这一环节上。”
    工作人员的心在此抽动了一下。
    28nm，华芯国际確实有这方面的计划，但铺垫了很久，他还真没听说过……
    看著对方的情绪发生了变化，王建平立马乘胜追击。
    “我们愿意全额预付设备款，无条件签署最严格的保密协议，后续所有工艺调试数据都可以和传音科技及国家大基金共享。
    產线排布，人员调整，我们完全配合牵头组的要求！”
    毕竟全额付款，又不是没有做，只不过之前哪怕全额付款也不一定拿到货，但这个只要全额付款，那绝对没有问题……
    这点小主意，王建平就可以做主！