第42章 土光刻机製成

    拆装的主力最终还是落到卓邵文身上。
    沈永健自己手上功夫不如对方稳,包括曹文三在內的两位平日在车间的技术员也一样。
    卓邵文这位副研究员的確不止理论扎实,动手能力也是一流。
    只不过这种精密仪器,尤其是这年代的老式精密仪器,完好的拆卸都不容易。
    直到下午三点左右,显微镜才拆得差不多。
    “今天就到这儿吧,明早再继续。”
    …
    “沈工,不继续安装么?”
    卓邵文眼下声音倒是洪亮,只是双眼红血丝愈加多,而且都隱隱开始外凸。
    沈永健虽然心中对这项目挺上心,但还没想要逼得这么紧。
    “算了,今天就先到这儿。”
    “绍文同志,我知道你能继续坚持,只是接下来的组装任务会更加艰巨,需要绝对集中的注意力。”
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    “你先回去养足精神,今天就先到这里。”
    眼见沈永健態度坚决,卓邵文虽然心痒却也不好坚持。
    直至车间的大门锁上,也只得回去休息。
    曹文三和曲崇二人同样听他安排,安心早下班回去。
    第二日一早,三人再度回车间后,状態立刻不一样了。
    卓邵文脸色虽然憔悴,但双眼红血丝褪去大半,看著才正常得多。
    至於曹文三两人年纪小,一夜睡足后精神头极佳。
    开始正式组装起土法的“光刻机”。
    这一过程,一连持续了三天。
    事实上整个组装用了两天,最后一天全用来进行校准与调试。
    也全靠了沈永健眼下极强的数学能力,哪怕拆装的动手能力不及卓邵文,但在设备的调校上,他对角度、距离、光路计算的精確把控,让这台“拼凑”出来的设备精度达到了理论设计的极限。
    “这算成了吧!?沈工?”
    隨著卓邵文一声压抑著激动、带著微微颤抖的低呼,简易的紫外曝光灯亮起。
    透过那精心倒置並调试过的显微镜物镜,在涂有临时调配光刻胶的多晶硅片上投射出清晰的图案边缘。
    沈永健此刻心情也不由得激动,点了点头回应道。
    “成了,初步研製是够用了。”
    身前的这台由显微镜重新拆装后的“土光刻机”,虽然样子难看了些
    整台机器零件顏色各异,但用是足够用了。
    哪怕只是极其初步的验证,也標誌著这台光刻机核心部分已搭建完成,具备了进行光刻实验的基础能力!
    曹文三和曲崇瞪大了眼睛,他二人当下也鬆了口气。
    事实上,这次设备的製造他二人只是打打下手,更多的就是学习而已。
    此刻看著那在紫光灯下显现的细微光斑,虽然不甚理解其全部意义,但卓邵文的激动和沈永健脸上那抹终於舒展的、带著成就感的笑意,让他们明白,这应当是件了不起的大事。
    经过反覆確认使用效果,目前精度暂时勉强够用。
    沈永健长舒了口气,连日紧绷的神经稍缓,拍了拍一旁卓邵文的肩膀。
    “邵文同志,辛苦了!这第一步,咱们算是迈出去了!”
    “后续等真正的硅晶圆製成后,还有场硬仗要打。”
    卓邵文用力点头,眼镜片后的目光依旧紧紧盯著那光斑,心中的激动难以言喻。
    要知道这可是光刻机,哪怕在沈永健眼中这机子还算不上真正的一代自製光刻机,但在卓邵文的视角下,这就是真正的第一代。
    “沈工,硅晶圆製成还得多久?”
    …
    “应该也就这几天吧?硅单晶炉轧钢厂那边零件都已经打造好,这两天正在组装调试,我一会儿就过去。”
    “不过正式研製也得是年后了,你在厂里的工作暂时就到这里,余下时间你自己安排就行。”
    这种具体的科研工作进行起来,时间总是过得飞快。
    眼下日子已经步入二月,距离过年也就四五天的时间。
    沈永健等硅单晶炉製成后,也准备给自己歇个几天。
    “沈工…我有个请求。”
    …
    “绍文同志,你有事直说就行,不用这么客气。”
    將近一周的时间接触下来,卓邵文的性子他如今是越来越熟悉。
    的確是那种让人省心的同志,尤其是作为团队的队员,眼里全是活,且许多事都不需要他提,对方主动便替他考虑到,帮他完成了。
    对科研的態度也无比严肃和认真。
    唯独一点,就是对他的態度过於严肃和敬重,有种將他当做老师一般对待。
    他其实更想与对方像同事或者朋友一般相处。
    “我能利用这几天…写一篇您这自製的这『光刻机』论文么?”
    “您放心,这文章署名还是沈工您的…”
    不等卓邵文说完,沈永健便已应下。
    不就是拿这机器的成果写篇论文么,多大的事。
    “行啊!”
    “不过你別把自己逼太紧了,文章要真写完了,別忘了把你自己名字也署上。”
    …
    “沈工,这不合適,我只是想替…替所里总结这个设备研製的思路…”
    …
    “邵文同志,你不用这样,这台光刻机的研製咱们四人是一个团队的。”
    “文章署名自然有你的一份,要是有第三第四作者,你可以把他们俩也带上。”
    沈永健本著一个团队人人有份的想法,並未多在意。
    毕竟这年头国內连微电子领域都几乎是空白,唯有部分教授与研究员在艰难探索这个领域,109所已经是这个领域的国內领头羊,有他这设备参考也好。
    这种自製的“土光刻机”文章要是发了,过个几十年倒是会被后人记上一笔,我国第一台光刻机研发等等…
    至於眼下,能不能引起重视,他也说不好。
    许多技术唯有等真正能应用之际,才会真正受到重视。
    ……
    另一边,第三轧钢厂內。
    硅单晶炉已在李工的重点关注下加急组装。
    沈永健赶到厂里的时候,这台大设备已初见雏形。
    蓝色的脚手架上,一个巨大的铁皮炉上头矗立著一根长管。
    看著好似简单,实际这些炉子有许多关窍都很复杂,比如外头分布的进出水管,炉壁刻意留的观察窗。
    毕竟要烧到1400c,这炉子能打造出来几乎是这年头轧钢厂工人的智慧结晶。
    “沈工,为了你这次的任务,我可是废了老大劲儿,把厂里计划外的特种钢材都调配给你了。”
    开口的是李工身边的另一中年男子,身高不高,不过长相不差,浓眉大眼的国字脸。
    此刻笑著凑近,与沈永健一脸亲近的交谈道。
    “閔厂长,多谢了,要是日后有什么我能帮得上忙的,您儘管提。”
    …
    “哈哈,那倒不用日后,眼下就有个事想问问沈工你的意见。”
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