“机械对准和光学对准的误差分別多少？”
“机械对准的误差大概在一点二纳米左右，光学对准的误差波动比较大，有时候能到三点几。”
“环境振动和温控呢？”
“厂房的防震地基和洁净室的温控都是按最高標准做的，实测数据都在正常范围以內。问题不在环境，在设备本身。”
赵阳听完之后没有马上说话。他靠在座椅上想了一会儿。套刻精度的问题大概率不是单个参数的事，而是几个子系统之间的匹配没做好工件台的定位精度、光学对准系统的补偿算法、光刻胶的涂布均匀性，这些东西叠加在一起，单一调哪个都不管用。
光源均匀性的问题反而好解决一些，大概率是曝光剂量校准文件的参数设置不对，或者镜头组的热效应补偿没有做好。
旁边的梁孟松好奇的看著自己这个年轻的老板，他看过赵阳很多新闻，他跨专业的能力，梁孟松从来没有质疑过。
但他可从来没听说过，赵阳曾经研究过光刻机啊！
不过就刚刚自家老板问的那几个问题来看，还真是个內行！
这可不是能装出来的！
车子到了工厂门口，梁孟松领著赵阳直接进了洁净室。换上无尘服，戴上口罩和手套，穿过风淋室，里面的黄光区一排排设备亮著状態灯。
几个工程师正围在光刻机前面，有人趴在地上看工件台的导轨，有人坐在主控屏幕前反覆调参数。看到梁孟松带著赵阳进来，几个人都停下了手里的活。
赵阳没有跟他们寒暄。他走到光刻机的主控屏幕前，调出最近几次测试的全部参数记录，一行一行往下翻。看了一会儿他抬起头，问旁边那个正在调参数的年轻工程师：“你们校准的时候，光学对准和机械对准是分开做的还是联动的？”
“分开的。先做机械对准，再做光学对准。”
年轻工程师回答道。
“问题大概出在这里。”
赵阳指著屏幕上两条几乎重叠但存在微小相位差的曲线。
“机械对准和光学对准必须联动校准。如果先机械后光学，光学对准会把机械对准的残余误差放大，因为光学系统在扫描的时候会重新採样，这个时候机械对准留下的那一丁点偏差会被当成正常信號。”
几个工程师互相看了一眼。梁孟松站在旁边没说话，但眉头微微皱著。
“联动校准怎么做？我们试过几轮，两个系统同步跑的时候数据抖得厉害。”
一个年纪稍大的工程师迟疑著开口问道。
赵阳开始一段一段讲。从工件台的运动学模型讲到光学对准的採样频率，从补偿算法的时间延迟讲到传感器信號的处理方式。
他没有泛泛而谈，而是按照自己脑子里关於光刻机系统架构的经验，把每一步都分解得很具体。讲到后面他拉过一块白板，用马克笔在上面画了张流程图，標註了几个关键参数应该调整的数值。
“光源均匀性的问题不用调设备。”
赵阳把马克笔放下，“应该是曝光剂量补偿文件的参数设置有问题。你们查一下镜头热效应补偿係数，大概率是默认值没有改。边缘剂量偏低是因为镜头组在长时间连续曝光下会產生轻微的热膨胀，补偿係数不对就会导致边缘对焦偏移。”
那个年纪稍大的工程师盯著白板上的参数值看了好一会儿，然后转头看了梁孟松一眼。梁孟松朝他点了点头，几个人立刻散开去重新跑参数了。
接下来三天，赵阳几乎都待在工厂里。光刻机的问题解决之后，他又陆续帮產线调了刻蚀均匀性的参数波动、cmp的终点检测偏差、离子注入的角度误差。
每一个问题他都是现场看数据、现场给方案，没有哪一次是坐下来慢慢推敲之后再回来改的。工程师们一开始还觉得这位学术明星可能只是在宏观层面给点建议，但几次调试下来，所有人都意识到他不是在建议，他是在直接告诉他们问题在哪里、怎么改、改了之后会怎么样。
“这个离子注入的角度为什么设七度？改成三度试一下。”
赵阳在离子注入机前面站了两分钟，看了一遍工艺参数表格，然后转头跟旁边的工艺工程师说。
“三度？那个注入角度设置常规不是都要求七度以上才能避免沟道效应吗？”工艺工程师有些迟疑。
“你这里的晶向是偏转过的，七度的余量太大了，反而会造成侧壁掺杂不均匀。试三度，应该没问题。”
工艺工程师试了一下，出来的测试数据跟赵阳说的一致。他把列印出来的测试数据举在眼前看了两遍，从设备旁边转过来望著赵阳，想说什么又不知道该说什么。
梁孟松全程跟在赵阳旁边，面上没什么特別的表情。
但他心中的震惊根本无法用语言来形容，看向赵阳的眼神变得越来越古怪。
难道这就是世界上最顶尖天才的能力吗？
还有，赵阳之前真的没有接触过光刻机？还是说他乾脆就在阿斯麦尔实习过？
但他这么小，而且履歷那么清楚，根本就没有这个可能才是啊！
梁孟松百思不得其解，不过想到最后，梁孟松也没有继续想下去，这种事情想多了就是徒增烦恼。
解决完最后一个工艺参数的那天晚上，赵阳没有回昌城市区，就在工厂的休息室里靠在沙发上睡了几个小时。
第二天一大早，梁孟松拿著刚列印出来的首批成品测试报告找到他。报告上的良率数据写在最上面一行，后面跟著一串测试参数的对比表格。
“三十二纳米，良率九十二。”
梁孟松把报告放在赵阳面前的桌上，眼神复杂的看著赵阳。
“首批试產片的电性测试全部通过。从设备调试问题到现在，十天不到。我们花了不到十天，把良率从零做到了量產水平。”
说完，梁孟松还是忍不住多问了一句。
“老板，你以前是不是在阿斯麦上过班？”
“当然没有。”
赵阳一边回答梁孟松的话，一边隨手拿起报告开始翻看。
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