第136章 开山

    2020年9月。
    “开山计划“启动后的第一周，苏辰的日程变成了这样——
    早上六点到上午十点，处理飞鸟平台和h-link 2.0的日常运营。
    上午十点到下午三点，与崑山的赵建成、陈国栋、刘国强视频连线，审核drie自研的技术方案。
    下午三点到晚上九点，审阅微芯传感、联合攻关组、以及各个团队递交上来的设计图纸和实验数据。
    晚上九点以后——
    这是苏辰真正的“工作时间“。
    每天晚上九点到凌晨两点，苏辰会把自己锁在办公室里，启动產品解析系统的虚擬拆解实验室。
    虽然系统没有解锁新的drie设计图，但虚擬拆解实验室本身就是一个强大的工具——
    苏辰可以在虚擬环境中模擬等离子体的行为，测试不同的刻蚀气体比例、循环参数、基台温度对硅片刻蚀效果的影响。
    每一次模擬都会被系统记录，產生详尽的数据报告。
    这些数据，在现实世界中需要花费数十万乃至数百万的实验费用和数周的时间才能获得。
    但在虚擬空间里，苏辰一个晚上就能跑上百次模擬。
    然后第二天，他会把前一晚的模擬结果整理成“参数建议“，发给赵建成和陈国栋。
    在外人看来——苏辰的行为是难以理解的。
    一个没有等离子体物理背景的企业家，却能准確地指出哪组参数是对的、哪组参数是错的。
    有时候，陈国栋和刘国强花了三天时间计算出来的一组等离子体刻蚀参数，苏辰看了一眼就驳回了。
    “基台温度的波动范围太大。‐40c到-20c”这个区间会导致刻蚀轮廓不均匀。把区间收窄到‐35c到-30c”，然后重新算一遍。“
    陈国栋当时的表情很微妙。
    他做drie三十年了，对基台温度和刻蚀轮廓的关係瞭然於胸。但苏辰给出的那个区间——‐35c到-30c”——恰好是他凭经验估算的最优区间。
    一个没有实操经验的人，怎么可能知道这个？
    类似的情况一再发生。
    苏辰会在某个真空室的材料选择上给出意见——“不要用316l不锈钢，换成铝合金。7075-t6就行。强度够用，而且加工成本低40%。“
    赵建成的反应是：“铝合金在高温等离子体环境下会不会有腐蚀问题？“
    本书首发 101 看书网藏书多，101??????.??????隨时享,提供给你无错章节，无乱序章节的阅读体验
    苏辰回覆：“我们的刻蚀气体以sf6为主，对铝合金的腐蚀性很低。而且我们的真空室工作温度不会超过200c，铝合金完全能承受。“
    赵建成沉默了。
    因为苏辰说的每一个技术细节都是对的。
    他不知道苏辰是怎么知道这些的——但事实就是事实。
    苏辰对drie的理解，深到了不科学的地步。
    最让陈国栋震惊的是一次关於刻蚀循环的討论。
    “开山计划”採用的是bosch工艺的改良版——交替进行刻蚀和铝化，形成深宽比很高的硅通孔。这个工艺的核心难点在於刻蚀和铝化的循环时间比。
    陈国栋和刘国强花了一周时间，终於敲定了一组他们认为最优的循环参数——刻蚀时间5秒，铝化时间2秒。
    苏辰看了一眼数据，直接说道：
    “刻蚀时间缩短到3.5秒，铝化时间增加到3秒。“
    陈国栋的第一反应是不服。
    他做了三十年drie，对刻蚀和铝化的时间比有著极为深刻的理解。
    “苏总，3.5秒的刻蚀时间太短了。每个循环的刻蚀深度会不足，导致总循环次数增加，整体效率反而会下降。“
    “不会。“苏辰说，“因为铝化时间增加到3秒后，侧壁保护层会更厚。这意味著每个循环的刻蚀方向性会显著提升——相当於每个循环的有效刻蚀深度反而增加了。“
    “而且，发射功率不变的前提下，缩短刻蚀时间会降低单次刻蚀的热负荷，减少底部的“草地”绵粪效应。这对深宽比的提升有直接帮助。“
    陈国栋盯著苏辰看了十几秒。
    然后他说了一句：“我回去验证一下。“
    三天后，陈国栋在视频会议中发来了验证结果。
    “苏总，您说的参数——我用现有设备做了验证。刻蚀时间3.5秒，铝化时间3秒——深宽比从20:1提升到了22.5:1。同时侧壁光洁度明显改善。“
    他顿了顿：
    “我做drie三十年，从来没用过这个参数组合。“
    “我想问一下——您是怎么知道的？“
    苏辰的回答很简单：“直觉。“
    陈国栋不信。
    但他没有再问。
    因为从那一刻开始——无论苏辰给出什么参数建议，陈国栋都会先验证，再执行。
    而每一次验证的结果，都证明苏辰是对的。
    呸尔。
    不科学归不科学，有用就行。
    ……
    “开山计划“启动的第二周，一个意想不到的人出现了。
    9月12日，苏辰收到了一封邮件。
    发件人名叫沈志明。
    沈志明——这个名字苏辰知道。
    中微半导体的前等离子体刻蚀事业部副总。中国晶片级刻蚀设备的先驱人物之一。
    不过苏辰也知道——沈志明半年前已经离开了中微。正式原因是“个人职业规划调整“，行业內的说法是——和公司的技术路线有分歧。
    更有意思的是——三个月前，在知乎的一个mems话题下，沈志明曾经匿名发过一条评论：“鸿远搞mems自主化？工艺设备从哪来？国內连一台像样的drie都造不出来，谈什么mems自主化？“
    这条评论获得了不少赞。
    而现在——这个曾经质疑鸿远的人，主动发来了邮件。
    邮件很长，但核心內容可以浓缩成三句话——
    第一，他看到了鸿远自研drie的消息。
    第二，他在中微做的是晶片级刻蚀，但对mems级刻蚀一直有兴趣，这也是他离开中微的原因之一——中微专注於ic刻蚀，不愿意分散资源做mems刻蚀。
    第三，他想加入“开山计划“。
    苏辰第一时间给沈志明回了电话。
    “沈总，我是苏辰。“
    “苏总，我知道你会打电话过来的。“沈志明的声音干练而直接，“我之前在知乎上质疑过鸿远，这个我不迴避。“
    “那现在呢？“
    “现在我还是觉得你们搞mems自主化很难。“沈志明说，“但drie自研这件事——我觉得能成。“
    “为什么？“
    “因为我在中微做了八年等离子体刻蚀。ic刻蚀和mems刻蚀的原理是相通的——都是等离子体+气体化学。只不过mems刻蚀的深宽比更高，对循环控制的要求更严格。“
    “而这些——恰好是我最擅长的。“
    苏辰没有立刻回答。
    他在想一件事——沈志明从中微离开，会不会有竞业禁止问题？
    “你之前和中微有竞业协议吗？“
    “有。但竞业禁止的范围是ic刻蚀设备。“沈志明说，“mems刻蚀设备不在禁止范围內——因为中微根本不做mems刻蚀。我离开之前专门確认过这一点。“
    苏辰的眼睛亮了一下。
    “沈总，你想要什么？“
    “开门见山——我想要一个机会。“沈志明说，“一个从零开始造一台中国drie的机会。在中微的时候，我一直想做这件事，但公司不同意。现在我离开了，看到你们在做这件事——我不想错过。“
    “我不需要多高的薪资。但我需要一个承诺——如果drie做成了，我要担任鸿远刻蚀设备事业部的技术负责人。“
    苏辰没有犹豫。
    “成交。“
    “还有一件事。“沈志明说，“我在中微的时候，带过一个七人的小团队，专门做等离子体刻蚀设备的研发。其中五个人跟我一起离开了中微。“
    “他们都愿意来吗？“
    “我说了是去mems刻蚀，不是ic刻蚀——五个人里有四个愿意。“
    苏辰在心里迅速算了一笔帐——
    沈志明+四名前中微工程师，加上陈国栋、刘国强、周院士派来的两个博士——
    “开山计划“的团队，一下子从8人扩充到12人。
    更重要的是——沈志明带来的是中国唯一一支有等离子体刻蚀设备实战经验的团队。
    他们在中微搞的是晶片级ic刻蚀，但等离子体控制、真空系统、气体输送这些底层技术是相通的。
    “沈总，下周一来崑山报到。我让赵建成接你们。“
    “好。“
    掛断电话后，苏辰的嘴角微微上扬。
    沈志明的加入，相当於给“开山计划“加了一台加速器。
    陈国栋有三十年drie工艺经验——他知道硅片想要什么。
    刘国强有中科院863项目的技术储备——他知道理论边界在哪里。
    沈志明有八年等离子体刻蚀设备的工程经验——他知道如何把图纸变成机器。
    三个人，三个维度。
    再加上苏辰自己——那个不讲道理的“直觉“。
    也许，真的能成。
    ……
    几乎在同一时间，另一件大事也在推进。
    9月15日，苏州。
    微芯传感67%控股的正式签约仪式在苏州工业园区的一家酒店会议室里举行。
    苏辰、李维、启明创投的王明辉、以及方旭——四个人坐在桌子的两侧。
    签约的过程很顺利。
    王明辉的態度和一个月前判若两人——那时候他还在拒绝67%控股方案。但工信部mems重大专项的消息一出，他立刻改变了主意。
    因为他看懂了——苏辰不只是在做一家企业，他在做一个產业。
    而一个被国家层面背书的產业——它的回报率远超一家普通企业。
    签约完成后，王明辉和苏辰握了握手。
    “苏总，之前的事情我不好意思。当时我確实没有看清楚局面。“
    “王总，商业上的分歧很正常。重要的是最终我们走到了一起。“
    王明辉点了点头。
    转头看向李维：“李博士，启明创投之前的投资並没有浪费。你的团队是微芯最大的財富。现在有了鸿远的產线和市场支撑，你们可以放开手脚做了。“
    李维微微笑了笑：“我们当然会放开手脚。“
    他转向苏辰：“苏总，签约完成后，微芯传感的整个团队將全面融入鸿远的mems体系。我个人的职位怎么安排，听您的。“
    “李博士，你继续担任微芯传感的ceo，同时出任启芯mems品牌的技术总监。“苏辰说，“设计端的所有技术决策，以你为主。“
    李维点了点头：“明白。我会儘快擬定第一步的详细技术方案——对標bmi270的全套设计图，两周內提交。“
    “好。“苏辰说。
    签约仪式结束后，苏辰和李维单独聊了十几分钟。
    “李博士，我想告诉你一件事。“
    “请说。“
    “我打算推出mems事业群核心团队期权激励计划。“
    苏辰简要说明了计划的框架——
    从鸿远智能科技的整体股份中，拿出相当於mems事业群营收利润15%的分红权，作为核心团队的激励。
    覆盖范围包括设计端（微芯传感）、製造端（鸿远微系统）、设备端（开山计划团队）三个核心团队。
    激励条件是——启芯mems品牌的產品进入商用量產阶段后，核心团队成员可以获得利润分红。
    “这个计划的目的很简单——让每一个核心成员都觉得，他们不是在打工，而是在创业。“
    李维的眼神变了。
    “苏总，这个计划很有诱惑力。但我想確认一点——您之前承诺的所有利润投入mems研发，和这个激励计划不矛盾吗？“
    “不矛盾。“苏辰说，“所有利润投入mems研发——是指飞鸟平台和飞控业务的利润。而mems事业群本身一旦產生利润——那是它自己的果实。这个果实，应该由创造它的人来分享。“
    李维看著苏辰，沉默了几秒。
    然后他说了一句：“苏总，我在半导体行业做了15年，见过很多老板。但能说出这种话的——您是第一个。“
    苏辰微微笑了笑：“因为我不只是老板。我是mems自主化这场战爭的士兵。士兵之间，应该同生共死。“
    ……