第308章 这能算对才怪了

    第二天一早，肖宿的车驶入了京郊的一所科技园区。
    园区环境清幽，绿树成荫，几栋白色的实验楼错落有致，门禁也很严，高长安在前排刷了通行证，车才被放行。
    又开了十分钟，最后停在了一栋五层高的白色大楼前。
    大楼门口掛著“国家光刻机专项研究中心”的牌子，安保看著挺严密的。
    大楼门口已经站满了人。
    最前面的是高长平，他今天穿了件深灰色的夹克，头髮梳得一丝不苟的，身后还乌泱泱站了一大群穿著白大褂的研究员。
    车刚停稳，高长平就三步並作两步迎了上来。
    “肖教授，你好，我是科技部的高长平，可算把您给盼来了！这百忙之中麻烦您跑一趟，真是辛苦了！”
    高长平双手握住肖宿的手，用力晃了两下，语气里满是激动。
    他其实也不想这么激动的，可是这太难了。
    光刻机这个坎，他们整个专项组磨了多少年了还没成功，可以说，肖宿是目前唯一能帮他们突破光刻机瓶颈的人了。
    他能帮忙，那就是黑暗中见著亮光了啊。
    他们的实验这次有希望了！
    这怎么能不让他高兴呢。
    他两眼放光，语气热烈，迫切的让肖宿有些不適应。
    他抿了抿唇，快速把手收回来插进了兜里，又往后面移了一步，和高长平离得远了一点：
    “嗯。”
    这个回答可真是简单至极。
    站在高长平身后的几个年轻研究员互相递了个眼神。
    他们之前听说过肖宿性格有些特別，没想到竟然这么特別。
    有个戴眼镜的小伙子偷偷用胳膊肘捅了捅旁边的人，压低声音说：
    “我去，肖神话好少啊？比传说中还要冷。”
    旁边的人也小声回了句：“天才嘛，都这样吧。”
    不过高长平却並不意外，他早就打听清楚肖宿的做事风格了，直接进入正题是最好的。
    高长平笑了笑，侧身让出了位置，开始给肖宿介绍身边的人：
    “肖教授，我给你介绍下，这位是陈云邦院士，咱们国內光刻仿真领域的泰斗，也是我们整个项目的中流砥柱。”
    陈云邦看到肖宿双手插兜的样子，也没自討没趣的要握手，只是声音温和的打了个招呼：
    “肖教授，久仰大名啊，你之前反击佐藤的那份清单，我和所里的老伙计们都仔细研究过了，逻辑縝密、分析透彻，真是年轻有为啊！”
    肖宿微微頷首，高长平又挨个介绍了一下陈云邦身后的人。
    “这是陈院士的高徒罗华研究员，也是我们专项研究的核心成员，这是胡伟……这是林小雨……”
    肖宿挨个点了点头，算作打招呼了。
    他清凌凌的目光落在罗华身上的时候，罗华紧张的手都出汗了。
    他可以说是肖宿的铁桿粉丝了，甚至可以说，肖宿是他在科研路上最暗时刻的光。
    当初在wclc上，佐藤健一郎站在台上，用轻蔑的语气嘲讽华国光刻界的时候，他攥紧拳头却无力反驳，那种被碾压的憋屈、那种看不到希望的迷茫，几乎要將他压垮了。
    而就在他快要陷入自我怀疑，甚至觉得自己这辈子都赶不上国际顶尖水平的时候，是肖宿甩出了那份四十七页的错误清单，硬生生扒掉了佐藤的偽装，让所有嘲讽华国科研的人都闭了嘴。
    那份清单，他翻来覆去啃了整整三遍，每一个错误分析、每一处推导修正，他都逐字逐句琢磨了个遍。
    从那个时候起，肖宿就成了他心中的標杆了。
    而现在，肖宿竟然直接出现在了他面前，还要指导他们的实验，简直像做梦一样。
    介绍完人，高长平领著肖宿走进了实验室。
    实验大厅空间很大，挑高將近十米，百级洁净间的正压气流从头顶的ffu送风单元匀速压下，发出持续而低沉的嗡鸣。
    几排光学平台整齐列装，气浮支腿上的水平指示灯清一色亮著绿光。
    靠里侧是物镜装调工位，六轴调整台和数字波前干涉仪已经架好，镜筒表面贴著的校准反射標记在洁净灯下泛著冷白色的光泽。
    再往里走是光源测试区和工件台联调区，深紫外雷射器的脉衝控制器面板上跳著时序波形，工件台的雷射干涉仪正以纳米级解析度实时记录位移数据。
    走廊两侧的过道里，穿著洁净服的研究员全都步履匆匆的，没人在閒逛，也没有人高声说话，所有人的节奏里都带著一种紧绷感。
    高长平走在肖宿侧前方，一边穿过设备区一边道：
    “陈院士是我们专项的理论顾问，干了一辈子光刻仿真了，国內这个领域的底子有一半是他铺的，罗华研究员是陈老的得意门生，光学系统设计这一块现在基本是他挑大樑，今天联调正好轮到他们组，让他给您先介绍一下情况？”
    肖宿点点头，没什么意见。
    看到肖宿点头，罗华有些激动的上前，走道肖宿的另一侧，从口袋里掏出雷射笔，一边走一边把几个关键工位的布局点给肖宿看。
    “肖……肖教授，我……我先把我们目前的实验进度和您同步一下。”
    “目前，我们这套物镜系统从设计到装调已经叠代了三轮了。
    第一轮叠代是验证光路布局的可行性，那时候镜片还没到位，用的是代用品，波前质量就不用提了，基本只是验证了光路能走通。
    第二轮是正式镜片到位之后，我们按设计参数做了精密装调，干涉仪测出来的波像差整体在公差范围內，但边缘视场的偏差还是比设计值要高出一截。
    到第三轮，我们把边缘视场的镜片组单独拆出来重新进行了装调，结果这次边缘是好了，可是中间又偏了，来来回回调了快一年了，整体波像差就是压不到目標线以下。”
    罗华的声音挺奇怪的，有点一颤一颤的，每说完一段还会下意识地往肖宿那边看一眼，直到肖宿投来一道略带疑惑的目光，他才稍稍稳住心神，说话顺畅了些。
    他边说边走到物镜装调工位前，指了指六轴调整台上那个一人多高的镜筒说：
    “这就是我们第三轮装调的镜筒。
    您看，这是它的整个光路布局，第一组透镜负责把入射光准直聚焦，第二组是折反射镜组，负责光路摺叠和像差校正，第三组是最后的成像放大组。
    现在的问题出在第二组和第三组之间。
    光经过折反射镜的时候，空间相干性的均匀度被破坏了，到了第三组透镜的时候，入射光的光瞳函数已经不是设计时假设的那个均匀分布了。
    我们在仿真里怎么也算不出这么大幅度的非均匀化，但每次装调完一测，数据就在那儿摆著，根本跑不掉。”
    肖宿站在光学平台前，隔著洁净室的玻璃看向里面的镜筒。
    他没有立刻说话，目光从第一组透镜的位置慢慢扫到第三组透镜的出口。
    “仿真用的光瞳函数是均匀假设？”
    “对，”罗华点头，“设计阶段默认入射光在光瞳面上是均匀分布的，这个假设在传统光学设计里是基本前提，我们也是照著这个来做的。
    但实测出来的光瞳函数在边缘区域还是存在明显的衰减，中高频还有一个局部峰值。”
    “这个峰值的位置稳定吗？”
    罗华愣了一下，转头看向旁边负责测试的工程师。
    那工程师赶紧翻了翻手里的数据记录本：
    “前三次装调，峰值在视场角零点三五度附近，第四次换了一批镜片，峰值挪到了零点四一度，第五次又回到零点三六度，基本就在这个区间里晃悠。”
    “那问题就不是出在镜片本身的加工精度上，”肖宿的目光从镜筒上收回来，“如果峰值的空间位置隨装调批次而漂移，那就说明它的来源不是某个固定镜片的加工缺陷，而是整个光路在某个节点上的系统性偏差被逐级放大了，这个节点应该就在光路摺叠的地方。”
    他走到旁边那台用於数据分析的电脑前，罗华赶紧跟过去，调出了光瞳函数的实测曲线。
    屏幕上两组数据叠在一起，一组是设计阶段的均匀分布假设，一条漂亮平滑的直线。
    另一组是上次装调后实测的分布，边缘区域明显下垂，中高频段鼓起了一个小山包。
    肖宿快速扫了一遍数据，在脑海中计算了一下，指著那个小山包的位置说：
    “问题应该出在这儿，光路在折反射镜这里被摺叠了，相应的，空间相干性在傅立叶平面上的分布也被重新排布了。
    原来均匀的光瞳函数经过这次摺叠之后，出现了与折反射镜几何形状强相关的非均匀调製。
    后面的第三组透镜在设计的时候没有考虑这个调製，它默认进来的是均匀光，结果进来的不是。
    这个偏差在第三组每一片透镜的装调裕度上被逐片放大，最后你测到的波像差分布就是这个放大效应的总和。”
    罗华紧紧盯著屏幕上那个小山包，嘴唇动了两下，脑子里飞速地把他之前五轮装调的数据全过了一遍。
    零点三五度，零点四一度，零点三六度……每一轮峰值的漂移量都恰好落在折反射镜曲率公差和装调角度公差的乘积范围之內。
    所以，正如肖宿所说，不是镜片没装好，而是光走到那一步的时候，已经被摺叠给掰弯了。
    “所以……我们这阵子，其实一直在调一个系统性的偏差？”
    罗华的声音带著几分乾涩，还带著一丝难以置信。
    “我们一直以为是镜片装调不到位的问题，每次都凭著干涉仪的测量数据，去调整下游第三组透镜的镜片参数。
    原来问题根本不是出在镜片上，而是因为上游的光瞳函数在经过折反射镜摺叠后，早就变了质、失了真，不再是设计时假设的均匀分布了。”
    “难怪，难怪我们之前怎么调都对不齐，怎么校都达不到標准！”
    后面跟著的研究员心情也挺复杂的，原来他们一直在用一个错误的输入，去硬擬合一个正確的输出，从头到尾都搞错了方向，难怪怎么折腾都没有结果。
    这能算对才怪了。