第133章 国家MEMS重大专项

    圆桌討论的第一个议题就是mems製造的核心工艺。
    赵建成通过视频连线从崑山参加了討论——苏辰特意安排了这一点，因为在座的学术大佬们虽然理论功底深厚，但对一线的mems製造现状了解有限。
    赵建成的匯报简洁而专业：
    “目前鸿远微系统的產线现状——suss步进光刻机一台，牛津仪器刻蚀机一台，莱宝薄膜沉积设备一套。4英寸全套mems流程。“
    “產线升级计划——新增一台suss ma200步进光刻机，將光刻精度从2微米提升到0.5微米。新增一台drie深硅刻蚀设备，实现高深宽比硅通孔刻蚀。薄膜沉积设备升级到能做aln压电薄膜。“
    “预计三到四个月完成升级。“
    听完赵建成的匯报，清华的孙教授第一个开口了：
    “赵工，你说的drie设备——牛津仪器的最新款有出口管制，你们买到的是哪个型號？“
    “上一代的plasmapro 100 estrelas。“赵建成说，“最新款確实受限，但上一代没有管制问题。性能上差一些，但经过参数优化后能满足我们的需求。“
    “差多少？“孙教授追问。
    “深宽比方面，最新款能做到30:1，上一代大概在20:1左右。但我们第一步目標对標bmi270，20:1已经足够。“
    “但第二步呢？“孙教授的眼神变得锐利起来，“你们要做超越村田scr1100的高精度陀螺仪——那种结构对drie的深宽比要求至少要25:1以上。上一代设备做不到。“
    赵建成沉默了一秒。
    这时候苏辰开口了：
    “孙教授说得对。这正是我想在今天的討论中提出的核心问题。“
    苏辰站了起来。
    “mems的製造工艺，传统路线有两条——表面微加工和体硅微加工。“
    “表面微加工成本低、產能高，但精度有天花板——这是目前大部分消费级mems的主流工艺。“
    “体硅微加工精度高、可靠性好，但工艺复杂、成本高——这是军工级mems的主流工艺，也是村田scr1100使用的工艺基础。“
    “如果我们走传统路线——先做表面微加工，再逐步过渡到体硅微加工——至少需要三到五年。“
    “但我的想法不一样。“
    苏辰在白板上画了一个简图：
    “我建议跳过纯表面微加工路线，直接走体硅+soi（绝缘体上硅）混合工艺路线。“
    会议室里立刻出现了交头接耳的声音。
    上海微系统所的钱研究员第一个提出了质疑：
    “苏总，soi混合工艺在国际上也只是在实验室阶段有过验证。意法半导体和博世都还没有在量產线上全面採用。你们一条4英寸的產线，直接上soi混合工艺——风险是不是太大了？“
    “而且soi晶圆的成本是普通硅晶圆的五到八倍。“钱研究员补充道，“你们的资金能承受吗？“
    面对质疑，苏辰没有著急。
    “钱老师说的风险確实存在。但我想换一个角度来看这个问题。“
    “如果我们走传统路线——表面微加工→体硅微加工→最终才触及soi混合工艺——至少要三步走，每一步至少一到两年。“
    “但如果我们直接从soi混合工艺切入——虽然第一步的门槛更高、风险更大，但一旦突破，我们將直接站在和国际巨头同一代工艺的起跑线上。“
    “不是追赶。而是平起平坐。“
    “这和鸿远一贯的风格一致——我们从来不按別人走过的路再走一遍。“
    清华的孙教授若有所思地点了点头。
    但周建华院士的表情依然很平静，看不出支持还是反对。
    这时候，赵建成在视频里插了一句话：
    “如果要走soi混合工艺路线，drie的深宽比问题確实是瓶颈。但我想说一件事——“
    “我刚从微感半导体过来，之前做过类似的drie参数优化。同样的设备，通过调整刻蚀气体比例、循环参数和基台温度，深宽比可以从標称的20:1提升到24:1左右。“
    “而且——“
    赵建成顿了顿：
    “我刚招到了一位叫陈国栋的老师傅。52岁，在drie工艺上有三十年经验。他的手感和经验，能让同样的设备发挥出不一样的性能。“
    “手感？“周院士终於开口了，语气中带著一丝好奇。
    “是的。“赵建成说，“这个人对硅片的理解已经到了直觉层面。別人需要用显微镜才能看到的晶圆缺陷，他用手指摸一下就能感觉到。同样的设备、同样的工艺参数，他调出来的良品率能比別人高20%。“
    “在mems工艺领域，经验有时候比设备更重要。“
    会议室里安静了几秒。
    然后周院士说了一句意味深长的话：
    “工艺know-how的核心载体是人，不是时间——原来你不是隨便说的。“
    苏辰微微笑了。
    “周院士，我说的每一句话都不是隨便说的。“
    周院士看了苏辰几秒，然后缓缓点了点头。
    “soi混合工艺路线——我支持。“
    这句话一出，会议室里的气氛立刻变了。
    周建华院士是中国mems领域的绝对权威。他的支持，对於在场的每一个人来说都有巨大的分量。
    “不过——“周院士话锋一转，“soi晶圆的来源问题你怎么解决？国內目前能做高质量soi晶圆的企业屈指可数。“
    “这也是我提出设立国家mems重大专项的原因之一。“苏辰说，“soi晶圆、aln压电薄膜、高纯度硅基材料——这些基础材料的国產化，不是一家企业能解决的，需要全行业协同。“
    “鸿远可以做先锋，在应用端和工艺端做突破。但基础材料端，需要国家层面的布局。“
    周院士点了点头，然后看向了副部长郑维国。
    郑维国一直在认真听，此时他缓缓开口了：
    “苏辰的建议，和我们內部的判断是一致的。“
    “mems传感器是低空经济的心臟，也是万物互联时代的基础器件。这个领域的自主可控，已经不再是一个选择题，而是一道必答题。“
    “关於设立国家mems传感器重大专项的事——“
    郑维国停了一下，看了一眼全场：
    “我今天可以表一个態。“
    “专项的事情，我们电子信息司已经在推。今天这个座谈会，就是专项前期调研的一部分。“
    “但今天听了苏辰的匯报之后，我觉得这个专项的力度还需要加大。“
    “我有几个初步的想法——“
    郑维国竖起了手指，一点一点说道：
    “第一，组建国家mems传感器联合攻关组。由中科院微电子所牵头，联合清华微纳所、上海微系统所、鸿远微系统等单位，围绕mems惯性传感器的核心工艺进行联合攻关。“
    “第二，设立mems传感器专项基金。初步规模不少於5亿元，支持从基础材料到工艺设备到產品量產的全链条研发。“
    “第三，建立mems关键设备进口绿色通道。对於mems製造所需的drie、光刻机、薄膜沉积设备等，在出口管制范围內儘可能加快审批流程。“
    “第四——“
    郑维国看向了苏辰：
    “鸿远微系统的產线，作为联合攻关组的產业化验证基地。科研机构的设计成果，优先在鸿远的產线上进行流片验证。“
    “苏辰，你愿意吗？“
    “当然愿意。“苏辰毫不犹豫地回答，“我在匯报里说了——鸿远的產线、市场和资金，全部向联合攻关开放。“
    “好。“郑维国点了点头。
    然后他看向周院士：“周老，联合攻关组的学术方面，还得请您牵头。“
    周院士沉默了几秒，然后缓缓说道：
    “我今年七十三了。本来打算明年就退了。“
    “但今天听了这个年轻人的话——“
    他看了苏辰一眼：
    “退休的事，再推迟两年吧。“
    会议室里响起了一阵笑声，紧接著又是热烈的掌声。
    周院士接著说：
    “我手底下有12个博士生和30多个硕士研究生。其中做mems惯性传感器方向的有8个博士和15个硕士。这些人我可以带到联合攻关组里来。“
    “不过——“周院士话锋一转，语气变得严肃，“苏辰，我有一个条件。“
    “周院士请说。“
    “联合攻关的成果，核心专利必须掌握在中方手中。不管鸿远將来怎么发展——融资也好、上市也好、引入战略投资者也好——mems自主化的核心技术专利，不能落到外资手里。“
    “这一点，你能保证吗？“
    苏辰站起来，郑重地说：
    “周院士，我保证。鸿远mems自主化的所有核心技术专利，永远属於中国。这是我苏辰的底线，也是鸿远的底线。“
    周院士注视了苏辰几秒。
    然后他点了点头。
    “好。那我就陪你走一程。“
    “啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪啪……“
    掌声再次响起。
    这一次比刚才更加热烈。
    因为所有人都清楚——周院士的加入，意味著整个中国mems学术界最强的力量，將和鸿远这个產业界的先锋匯合。
    这不再只是一家企业的mems自主化。
    这是一场举国协作。
    规模虽然比不上“两弹一星“，但决心和格局，与当年一脉相承。
    ……
    会议一直开到了下午五点多才结束。
    结束后，苏辰和周院士单独聊了十几分钟。
    “苏辰，我有一句话想问你。“周院士靠在椅子上，语气很隨意，像是长辈在和晚辈聊天。
    “您请说。“
    “你今天说的那个两步走战略——第一步对標博世bmi270，第二步超越村田scr1100。“
    “第一步我相信你能做到。你有產线、有团队、有市场，而且bmi270的性能指標不算极端。半年到一年，问题不大。“
    “但第二步——超越scr1100——你心里到底有多少把握？“
    苏辰沉默了几秒。
    在周院士面前，他不想说场面话。
    “周院士，如果只靠常规的研发路径——我的把握不超过30%。“
    周院士微微挑了挑眉。
    30%——这个数字比他预想的还低。
    “但——“苏辰说，“我有一些想法和技术方向，目前还不方便透露。等第一步完成后，我会和您详细討论。“
    周院士看著苏辰的眼睛，沉默了几秒。
    他在苏辰的目光中看到了两样东西——
    一样是坦诚。30%的把握，这不是一个虚偽的人会给出的数字。
    另一样是自信。那种“30%只是表面数字，实际底牌不止於此“的自信。
    “好。“周院士站起来，拍了拍苏辰的肩膀，“我等你第一步的结果。“
    “第一步做到了——第二步我们再好好聊。“
    “谢谢周院士。“
    “別谢我。“周院士笑了笑，“我是为了中国的mems，不是为了你苏辰。你要是让我失望了——我可不留情面。“
    “不会让您失望的。“
    周院士看著苏辰的背影走出会议室，轻声说了一句——
    “但愿如此。“
    ……
    当天晚上，苏辰在北京的酒店里，收到了方旭发来的一条消息。
    “苏总，启明创投的王明辉今天主动打电话过来了。“
    “他说了什么？“苏辰问。
    “他说看了新闻联播的报导，又看了工信部座谈会的消息，重新评估了鸿远在mems產业链上的位置。“
    “然后呢？“
    “67%控股的方案——他同意了。“
    苏辰看著手机屏幕，嘴角微微上扬。
    一切都在按计划推进。
    不——比计划推进得更快。
    工信部的mems重大专项、周院士的联合攻关组、启明创投的67%控股——三件事几乎在同一天尘埃落定。
    这不是巧合。
    这是四年积累到了一个临界点后，自然而然的连锁反应。
    苏辰放下手机，走到窗前。
    北京的夜空不像深圳那样灯火辉煌，但能看到远处长安街上的车流，像一条金色的河流在黑暗中缓缓流淌。
    他想起了今天会议室里的场景——
    那些院士、教授、博士们的眼神。
    从最初的审视和怀疑，到后来的认可和期待。
    他突然有一种感觉——
    这不再只是他一个人的战爭了。
    从今天开始，整个中国的mems力量都站在了他的身后。
    这种感觉让他心生豪迈。
    就像原小说里的林轩站在中科院的大型会议室里，看著上千名科研人员时的那种感觉——
    不对。
    苏辰摇了摇头。他不能用“原小说“的思维来思考问题。
    这是他自己的人生。
    他苏辰的人生。
    “好了。“苏辰深吸一口气。
    明天飞回深圳，要做的事情还有很多——
    张磊那边“六颗版“飞鸟s1的量產切换要盯著。
    赵建成崑山產线升级要持续推进。
    陈国栋的入职手续要落实。
    微芯传感67%控股的正式签约要儘快安排。
    周院士联合攻关组的人员对接和工作计划要敲定。
    光明区8000平方米用地的mems研发中心建设要启动。
    六条线，同时推进。
    任何一条出了问题，整盘棋都可能崩盘。
    但苏辰不怕。
    因为他从来都是在钢丝上跳舞的人。
    ……
    而在苏辰酒店房间的窗外，在他看不到的地方——
    一封加密邮件正在跨越太平洋。
    发件人的地址指向东京。
    收件人是航信达通科技的贺志强。
    邮件的正文只有一句话：
    “村田已確认，將配合执行第二阶段方案。“
    贺志强在北京的办公室里看到这封邮件时，露出了一个阴冷的笑容。
    他拿起手机，给大疆的陈嘉铭发了一条消息：
    “第二阶段启动。目標——鸿远的mems设备供应链。“
    三秒后，陈嘉铭回復了两个字：
    “收到。“